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流延硅基PZT厚膜工艺研究
研究了基于流延技术制备硅基锆钛酸铅(PZT)厚膜的工艺.考虑衬底特性对厚膜品质的影响,在不同的种子层上分别制备了PZT厚膜,测试工......
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